Napylarka próżniowa UNIVEX 300

LEYBOLD AG; 1996

Dane techniczne:

Wysokopróżniowa pompa turbomolekularna. System napylania oporowy z pełną automatyką.

Pojemność klosza: 30 l
energia wiązki: do 6.0 KeV
zasilanie: 3.6 KW

Zastosowanie:

Do napylania aluminium i złota na płytki krzemowe w procesie produkcji krzemowych detektorów promieniowania jonizującego. Stosowane jest również napylanie palladu, chromu, tytanu, manganu. Wraz z dodatkowym działem elektronowym ESV2 służy do napylania trudno topliwych par materiałów stosowanych w technologii wytwarzania krzemowych detektorów promieniowania jonizującego oraz tarcz (np. borowych, węglowych, krzemowych), które używane są w eksperymentach fizyki jądrowej.

Lokalizacja urządzenia:

Zakład Fizyki Radiacyjnej i Dozymetrii (NZ63)