Stanowisko ultrawysokiej próżni

Dane techniczne:

Prod. własna, wyposażony w spektrometr Augera i LEED
próżnia: do 10-11 mbar
parowanie termiczne: 4 rodzaje materiałów jednocześnie
prędkość nanoszenia materiału: od 0 do 5 nm/min
dokładność pomiaru grubości: 0,02 nm

Zastosowanie do:

przygotowanie cienkich warstw i układów cienkowarstwowych.


SPEKTROMETR LEED i AUGER

Dane techniczne:

średnica wiązki: ok. 0,5 mm
energia elektronów:  
LEED zakres: do 700 eV
AES zakres: do 3000 eV

Zastosowanie do:

obserwacja struktury krystalograficznej i analiza składu chemicznego powierzchni.

Lokalizacja urządzenia:

Zakład Materiałów Magnetycznych i Nanostruktur (NZ34)