Dane techniczne:
Producent: | CYBERSTAR |
Instalacja: | 2011 r. mikrowyciąganie w dół 2014 r. Czochralski |
Grzanie: | indukcyjne |
Moc generatora: | 20 kW |
Częstotliwość prądu: | 5 – 15 kHz |
Metody wzrostu: | mikrowyciąganie w dół (od 2011 r.), Czochralski (od 2014 r.) |
Warunki wzrostu: | próżnia (do ~ 3 x 10-6 bara) lub dowolna atmosfera gazowa |
Osiągalna temperatura: | >2000 °C |
Izolacja cieplna: | Al2O3 lub ZrO2:Mg |
Prędkość wzrostu: | 0.01 mm/h do 99.99 mm/min (realnie do kilku mm/min) |
Prędkość obrotowa: | 0.1 – 99.9 obr/min |
Dodatkowe informacje: | Urządzenie wyposażone w system automatycznej kontroli procesu wzrostu kryształu na podstawie przyrostów masy |
Zastosowanie:
Urządzenie dedykowane do wysokotemperaturowej inżynierii monokryształów tlenkowych metodami mikrowyciągania w dół i Czochralskiego.